日本真空協会の中に「工業部会」として活動していたグループがあり、これが1985年（昭和60年）分離独立して誕生したのが日本真空工業会でした。

日本真空協会は昭和33年7月に設立された団体で、学術活動と工業活動という性格の異なる事業を展開してきておりました。
昭和56年頃からの真空技術は、高度先端技術として半導体産業、電子産業をはじめ主要産業の発展のためのキーテクノロジーと言われる重要な産業と位置付けられるようになってきました。
また、1984年（昭和59年）8月通商産業省産業機械政策懇談会でとりまとめられた産業機械産業のビジョンの中で、「真空産業は先端技術の発展を支える基幹産業」と位置付けられ、真空業界も産業振興のための組織活動の必要性が増してきました。

こうした真空産業の環境の変化に対応し、急速に拡大する真空産業の発展を図るうえで、真空技術の学術面での研究と産業の発展を図っていくことが重要であることから、真空産業の振興に機動力をもたせるうえで、真空協会の工業部会を独立させ、産業振興面での工業会組織の設立が不可欠となってきました。

このような状況の中で当時の工業部会が独立を決意し1985年（昭和60年）7月に設立するに至りました。

設立 通算	西暦/　 元号	会長		主な成果や出来事
		歴代	会長（所属会社）
0	1985/ 昭和60	1	斎藤泰蔵 (徳田製作所）	日本真空協会から独立して日本真空工業会を設立 関西支部、企画・技術・調査・広報各委員会が発足 第7回「真空展」開催
1	1986/ 昭和61	2	織田善次郎 （日電アネルバ）	「JVIA会報」創刊、「会員名簿」の発行、 第1回AEJフォーラム開催
2	1987/ 昭和62		織田善次郎 （日電アネルバ）	第2回AEJフォーラム開催 各種規程の制定
3	1988/ 昭和63	3	笠岡亥一郎 (大阪真空機器）	「JVIA会報」年4回発行、全会員の「売上・受注統計」調査開始 企画委員会を廃止し、企画運営委員会と企画室を発足させる
4	1989/ 平成1		笠岡亥一郎 (大阪真空機器）	委託調査事業「真空利用による高度先端技術の調査研究」報告書発行 会員の総売上がはじめて2,000億円台を超え2,377億円に達する
5	1990/ 平成2	4	近藤繁一 （日本真空技術）	第12回真空展にて米国AVEM会長、台湾真空協会会長招請し初交流 第1回賀詞交歓会開催
6	1991/ 平成3		近藤繁一 （日本真空技術）	委託調査事業「イオン応用真空機器の技術動向」報告書発行 「真空機器の分類表」発行　第6回AEJフォーラム開催(最終回)
7	1992/ 平成4	5	和泉　巌 （日電アネルバ）	「JVIA会報」年6回発行 委託調査事業「21世紀先端基盤産業基盤技術動向調査」報告書発行
8	1993/ 平成5		和泉　巌 （日電アネルバ）	「JVIA会報」を「真空ジャーナル」に改称 「SI単位系ガイドライン」発行
9	1994/ 平成6	6	鈴木三郎 （芝浦製作所）	委託調査事業「21世紀先端技術の応用と成果予測調査」報告書発行 「真空機器の分類表」発行
10	1995/ 平成7		鈴木三郎 （芝浦製作所）	創立10周年記念式典実施　委託調査事業「真空における次世代材料調査」報告書発行 第17回真空展でJETRO支援の第1回国際交流会実施 第1回真空技術基礎講習会「ウォーキングコース」開催
11	1996/ 平成8	7 8	上野朝生 (日本真空技術） 中村久三(同上)	「PLPガイドライン」発行 CS委員会の発足 長期ビジョンワーキング発足 委託調査事業「真空領域における環境計測技術の調査」報告書発行
12	1997/ 平成9		中村久三 (日本真空技術）	長期ビジョンワーキング報告書発行 委託調査事業「真空計の固体差評価と校正のための技術的調査」報告書発行
13	1998/ 平成10	9	西平俊二 （アネルバ）	アクション21プロジェクトの発足 「真空ポンプ用語集」発行 「真空圧力のトレーサビリティ報告書」発行
14	1999/ 平成11		西平俊二 （アネルバ）	企画室の廃止、JVIAホームページの開設、法人化設立準備委員会発足 「アクション21プロジェクト報告書」発行 事務所を新橋御成門に移転 「初歩から学ぶ真空技術」工業調査会より発刊
15	2000/ 平成12	10	角　忠夫 (芝浦メカトロニクス)	海外企業視察団が欧州企業と国際統計構築で合意 第1回真空フォーラムと第1回真空シンポジウムをスタートさせる フォーラム・特定技術推進・環境の3委員会発足
16	2001/ 平成13		角　忠夫 (芝浦メカトロニクス)	韓国真空研究組合との間で交流協定の調印 国際統計収集と発表で日米欧が合意する 海外企業視察団が中国を訪問し中国真空設備行業協会と交流 「真空用語事典」工業調査会より発刊
17	2002/ 平成14	11	廣瀬　政義 (荏原製作所)	日本標準産業分類への登録が完了　「環境活動報告書」発行 委員会の改編を行い、企画・教育・規格標準・技術・統計・環境CS・展示会の7委員会による新組織発足、新国内企業視察実施 国際統計の最初のデータが参加者に配布される
18	2003/ 平成15		廣瀬　政義 (荏原製作所)	第1回真空技術者資格認定試験実施 特別会員制度実施 真空機器のLCA 評価ソフトの発売 真空機器のデータベースをHPに掲載
19	2004/ 平成16	12	今村　有孝 (アネルバ)	低真空事業調査小委員会発足 「ターボ分子ポンプの安全性確保に関するガイドライン」発行 「バイオMEMS調査報告書」発行 「有機半導体デバイス調査報告書」発行
20	2005/ 平成17		今村　有孝 (キヤノンアネルバ)	創立20周年を迎える、JVIA表彰制度の見直し実施 「真空ジャーナル」100号記念号、「真空ジャーナル」20周年記念号、「作業事時に使用する冶工具の取扱い」、「真空ポケットブック」、「真空技術（真空の維持に係る技術）の高度化の方向性等に係る基礎調査報告」、「有機電子デバイス応用調査報告書 II」発行
21	2006/ 平成18	13	加藤　孝幸 (島津製作所)	関西支部設立20周年を迎える、ロシア初の真空展に調査団派遣 「中国版RoHSの最新情報」「安全保障貿易とJ-MOSSの最新情報」の講演会を実施 「低真空事業調査小委員会 活動報告書」発行 ホームページのリニューアルを実施 新教育講座（真空実践講座、真空応用講座、安全教育講座）の開始
22	2007/ 平成19
23	2008/ 平成20	14	諏訪　秀則 （アルバック）	委員会の改編を行い、企画・教育・出版・展示会・規格標準・技術・統計・環境・CSの9委員会による新組織発足
24	2009/ 平成21			「真空ポケットブック」改訂版発行 「安全保障貿易管理説明会」を実施