薄膜ワールド2004 真空から生まれる夢世界
VACUUM2004真空展(2004.9.15〜18開催)の主催者コーナーに展示したパネルです。
用意した小冊子（アンケートと引き換え）の在庫が無くなりましたのでhomepage上でご紹介させて頂きます。
タイトルをクリックしますとＰＤＦファイルをダウンロードできます。
なお、図表・写真等の各データの著作権は情報提供者に帰属します。データの二次利用は固くお断り致します。
情報提供および展示物をお貸し頂きました関係者に感謝致します。
薄膜ってなぁに？ (276kB)
真空薄膜の樹 (250kB) jpg版
真空と薄膜の歴史 (378kB)
薄膜の市場規模 (191kB)
身の回りの薄膜
『走る薄膜』…カーエレクトロニクス (306kB)
『コミュニケートする薄膜』…携帯電話 (305kB)
『お掃除いらずの薄膜』…光触媒 (587kB)
『環境を考えた薄膜』…熱遮断ガラス (744kB)
『電気を作る薄膜』…太陽電池 (538kB)
『灯す薄膜』…発光ダイオード (566kB)
『触れ合う薄膜』…”癒し系”ロボット (271kB)
『遊ぶ薄膜』…パチンコ・パチスロ (304kB)
『チェックする薄膜』…ICタグ(333kB)
『撮る薄膜』…デジタルカメラ(282kB)
薄膜一服コーナー
薄膜一服コーナー(1)(363kB)
薄膜一服コーナー(2)(363kB)
薄膜一服コーナー(3)(345kB)
薄膜の作製法
@ スパッタリング (235kB)
A 化学蒸着法（CVD） (189kB)
B 真空蒸着 (233kB)
C イオンプレーティング (238kB)
実験用小型真空蒸着装置（成膜実験コーナー） (74kB)
機能性薄膜の材料（成膜実験コーナー） (91kB)
薄膜作成に使う材料と蒸着源（成膜実験コーナー） (718kB)
カットモデルコーナー
ドライポンプ (421kB)
油回転（ロータリー）ポンプ (237kB)
油拡散ポンプ(372kB)
ターボ分子ポンプ (372kB)
クライオポンプ (367kB)
真空バルブ (274kB)
真空計 (261kB)
四重極型質量分析計 (378kB)
電子ビーム蒸着源 (312kB)
薄膜の将来展望・最新研究紹介
常温高速プラズマ結晶化技術（東京大学・先端科学技術研究センター）(265kB)
二層Ａｕ薄膜の付着破壊に及ぼすＳｂの効果（関東学院大学工学部 電子顕微鏡室）(146kB)
大口径ウェハ対応表面波プラズマ装置の開発（室蘭工業大学・電気電子工学専攻）(314kB)
高周波支援パルススパッタによる薄膜構造制御（金沢工業大学・草野研究室）(336kB)
真空紫外レーザーによるＳｉＯ2膜の室温形成（防衛大学・電気電子）(300kB)
スパッタ法による電磁波シールド薄膜の作成（広島工業大学）(326kB)
高効率・高速プラズマ収束円筒スパッタリング（日本ナノ膜梶A金沢大学大学院）(361kB)
超高真空対応超音速モータの開発（東京大学生産技術研究所）(679kB)
真空実験コーナー
真空と大気との圧力差(226kB)
真空中での自由落下(256kB)
真空による音の減衰・断熱（253kB)
真空による沸点低下(251kB)
真空による防湿・酸化防止(277kB)
真空放電とプラズマ(288kB)